精密仪器是指用于产生和测量精确量的设备和装置，包括对精确量的观察、监视、测量、检定、记录、传输、转换、显示、分析、处理和控制。精密仪器是仪器仪表的重要分支。

精密仪器种类繁多、结构各异。对于用于测量的精密仪器，其结构可分为基准、传感转换、转换放大传输、瞄准/读数、数据处理、显示与记录、驱动与控制、机械结构等八大功能部件。但并不是说一台精密仪器一定要包含以上八个功能部件，而是要根据仪器功能的要求来选择。

1、基准零件

基准零件为测量提供了标准量，测量结果需要与之进行比较，才能得到准确的测量值。因此，它是决定精密仪器精度的主要环节。

基准装置有很多种，如测量几何量(长度和角度)测量的标准装置：量块、精密测量丝杠、直线尺、刻度板、多面棱体、多齿分度盘、光栅尺(盘)、磁栅尺(盘)、感应同步器、光波等。对于复杂参数，有渐开线样板、表面粗糙度样板等标准件，也有提供标准运动的标准圆周运动、渐开线运动和齿轮运动装置。此外，还有标准硬度块、频率计，时间、照度、流量、色度、激光参数、温度、测力、称重等标准，可根据需要选择。

2、感受转换组件

感受转换部分感测测量信号，并拾取原始信号，用于进一步转换、处理和分析。它的精度直接影响了整个仪器的精度。

仪器的一些感受转换元件只起到感知原始信号的作用，而另一些元件也同时进行信号转换。感受转换部分有两种：一种是接触式，如各种机械式探头；一类是非接触式，如气动非接触式测头、光学探头、红外线、涡流测头、拾音器等。

3、转换放大传输组件

转换放大传输组件会感受转换后的微小信号，通过各种原理(光、机、电、气)进一步转换放大，成为观察者或其下一个组件可以直接接收的信号，如显示或进一步处理。

4、瞄准/读数组件

瞄准/读数组件感应零/读数的测量/标准量。

瞄准部件是用来感受被测物体的，要求指零准确，一般不用于读数，所以不要求其灵敏度。读数部分用于感受标准量，并产生测量结果。在实际测量中，它们是可以互换的，而不是绝对的。但是有些仪器是不可互换的。

5、数据处理单元

数据处理单元加工、校正和计算等处理测量数据。通常由微处理器和微型计算机来完成。

6、显示记录组件

记录部件用于显示和存储测量结果，包括多种种类，如指针式表盘、记录仪、数字显示器、打印机、荧光图像显示器以及各种ROM和RAM存储器、磁盘、CF和SD等各种存储卡。

7、驱动控制部件

驱动控制部分驱动测量部分的测头移动或驱动工作台实现测量动作；在自动检测仪器中，数据处理部件的输出——测量误差被放大转换，驱动执行机构实现系统的动作。

8、机械结构部件

机械结构部件是用于保障其他部件功能实现的连接、支撑、保护、间隔和运动导向的机械结构。主要有基座、支架、导轨、工作台、轴系等其他部件，如微调、锁紧、限位、保护等机构。它是仪器不可缺少的一部分，其精度有时对仪器精度的影响起着决定性的作用。